EPMA(電子線プローブマイクロアナライザー)は、古い方々にはXMAと言った方が分かりやすいかも知れません。
物質に電子を当てると散乱、反射、透過と言う現象がおこります。その中で物質から二次電子、反射電子、連続エックス線、固有エックス線、蛍光エックス線等が放出されます。EPMAはこの中の固有エックス線を検出する事によりその物質の元素を定性&定量するものです。
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真空中で固体であり、電顕写真の取れる試料が対象となります。理論的に水素(H)とヘリウム(He)は固有エックス線を持たないため計測出来ません。また軽元素は、苦手です。神奈川歯科大学のEPMAは島津社のEPMA-8705IEHシステムを基本にHORIBA社のEMAX3770 というEDSを装着しています。この機械は、ベリルウム(Be)からウラン(U)までの全元素の測定ができます。人工分光結晶(LSA)には酸素フッ素専用機を取り付けています。しかしながら、EDSではナトリウム(Na)以上の元素番号のものしか検出できません。マッピングで同時に取り込める元素はWDSだけでは4元素、EDSを含めると6元素です。6元素取り込みと同時にSEM, BSE, Composition Image, Topo Imageなどの信号を取り込めます。
そして、どんな元素が(定性分析)、どこに(マッピング)どれだけ(定量分析)どんな形で(状態分析)存在するかを測定できます。ただし、Be,B,K,Nは難しいです。最低倍率は40倍ですが、Stage Scanにて45mm×35mmの試料もマッピングできます。Beam Scanではやはり5000倍以上を推奨しますが、それ以下のStage ScanとBeam Scanのいわゆる狭間の倍率の部分はマイクロステップという技法で補えるように当機械は装備されています。その他にも、イメージエンハンサーやパルスハイトセレクター、イメージローテーション、γ補正などのオプションも装備されています。
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神奈川歯科大学歯科保存学講座に連絡するかメールを岡田周策にください。相談にのります。通常所定の講習を受けた方のみ自分で操作できます。責任者は神奈川歯科大学歯科保存学講座教授寺中敏夫先生です。
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いままで法医学、予防歯科、神奈川歯科大学歯科技工専門学校などの依頼を受け様々な分野で測定を行っています。こんな事ができないか?とかこういう使い方はなどといった意見をいただけたら光栄です。また、反射電子組成像もかなりきれいなものが取れます(それもSEMをみるのと同じ試料電流で!!)活用して下さい。所々わけの分からない言葉が出てきますが、ホームページのアップデート時に色々説明を加えたいと思います。
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